imec 展示 NbTiN 超导数字电路关键结构，可实现百倍能效提升
比利时imec微电子研究中心在ieee iedm 2024国际电子器件会议上展示了基于nbtin超导材料的数字电源关键模块，包括互连、约瑟夫森结和mim电容器。这些模块具有可扩展性，兼容300mm cmos制造工艺，并能承受420℃的高温工艺。
imec表示，其第一代超导数字电路的能效比7nm CMOS系统提升了100倍，性能提升了10到100倍。
▲ imec提供的超导电路结构图
imec的NbTiN超导互联采用半大马士革集成工艺，实现了50nm的导线和通孔临界尺...